日本Otsuka大塚GS-300oad Port膜厚測量系統(tǒng)-成都藤田科技提供
產(chǎn)品信息特點(diǎn) 支持集成到 Φ300mm EFEM 單元的備用端口實(shí)現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對(duì)齊支持半導(dǎo)體工藝的高吞吐量要求支持槽口對(duì)齊功能小尺寸規(guī)格高精度自動(dòng)校準(zhǔn)單元自動(dòng)...

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-02-22

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：191

服務(wù)熱線

19938139269（馬經(jīng)理）

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

產(chǎn)品介紹

日本Otsuka大塚GS-300oad Port膜厚測量系統(tǒng)-成都藤田科技提供

日本Otsuka大塚GS-300oad Port膜厚測量系統(tǒng)

產(chǎn)品信息

特點(diǎn)

● Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成

● 實(shí)現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對(duì)齊

● 支持半導(dǎo)體工藝的高吞吐量要求

● 支持槽口對(duì)齊功能

● 小尺寸規(guī)格

● 高精度自動(dòng)校準(zhǔn)單元

測量示例

TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度

晶圓厚度Φ300mm尺寸

特點(diǎn)

規(guī)格

自動(dòng)Mapping系統(tǒng)式樣表
名稱	自動(dòng)Mapping系統(tǒng)		Load Port對(duì)應(yīng)膜厚儀
型式	-	-	GS-300 series
樣品臺(tái)方式	X-Y樣品臺(tái)		R-θ樣品臺(tái)
光學(xué)系	測量探頭 CCD相機(jī)		同軸顯微測量頭 IR相機(jī)
大晶圓尺寸	150mm以下	300mm以下	僅Ф300mm
晶圓角度補(bǔ)正	有
Pattern對(duì)準(zhǔn)	有
晶圓厚度范圍	視分光干涉式晶圓厚度傳感器的式樣而定
設(shè)備尺寸（W×D×H)mm	本體:570x600x780 控制器:500x273x177 (PC、顯示器尺寸除外)	本體:773x760x600 控制器:350x310x120 LED電源:90x160x80 (PC、顯示器尺寸除外)	500x500x1680 內(nèi)置PC （顯示器、鍵盤尺寸除外）

測量示例

日本Otsuka大塚GS-300oad Port膜厚測量系統(tǒng)

核心特點(diǎn)：

非破壞性高速測量：采用顯微分光技術(shù)，1秒內(nèi)完成單點(diǎn)對(duì)焦與測量，支持從紫外（230nm）到近紅外（1600nm）廣波長范圍，覆蓋1nm至92μm膜厚需求，滿足半導(dǎo)體、光學(xué)材料等高精度場景。
透明基板技術(shù)：反射對(duì)物鏡設(shè)計(jì)，物理消除基板內(nèi)部反射干擾，實(shí)現(xiàn)玻璃、SiC等透明或異向性基板上的高精度膜厚測量，支持50層以上多層膜解析。
智能建模與易用性：內(nèi)置初學(xué)者模式，簡化光學(xué)常數(shù)（n/k）建模流程，支持宏功能自定義測量序列，可無縫集成自動(dòng)化產(chǎn)線。

日本Otsuka大塚GS-300oad Port膜厚測量系統(tǒng)-成都藤田科技提供