Otsuka大塚整面薄膜掃描膜厚儀（在線式）-成都藤田科技提供
采用線掃描方式檢測整面薄膜硬件軟件均為創(chuàng)新設(shè)計作為專業(yè)膜厚測定廠商，提供多種支援實現(xiàn)高精度測量實現(xiàn)高速測量不受偏差影響可對應(yīng)寬幅樣...

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-06-07

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日本大塚Otsuka

膜厚測試儀

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產(chǎn)品介紹

Otsuka大塚整面薄膜掃描膜厚儀（在線式）-成都藤田科技提供

Otsuka大塚整面薄膜掃描膜厚儀（在線式）

產(chǎn)品信息

特點

● 采用線掃描方式檢測整面薄膜

● 硬件&軟件均為創(chuàng)新設(shè)計

● 作為專業(yè)膜厚測定廠商，提供多種支援

● 實現(xiàn)高精度測量（已獲?。?/span>

● 實現(xiàn)高速測量

● 不受偏差影響

● 可對應(yīng)寬幅樣品（TD方向大可測量10m）

Otsuka大塚整面薄膜掃描膜厚儀（在線式）

式樣

	在線型	離線型
膜厚范圍	0.7~300μm*1
測量寬度	TD:500mm~大10m x MD1mm	TD:250mmxMD1mm
測量間隔	10ms ~
設(shè)備尺寸	81(W)x140(D)x343(H)mm	459(H)x609(D)x927(H)mm
重量	4kg(僅測量頭)	60kg
大功耗	AC100V 10% 125VA

※膜厚值n=1.5的換算。由式樣而定

測量案例

500mm寬的包裝薄膜

Otsuka大塚整面薄膜掃描膜厚儀（在線式）

核心特點：

微區(qū)測量能力：最小光斑直徑3μm，搭配自動XY平臺（200×200mm），實現(xiàn)晶圓、FPD（如OLED、ITO膜）等微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。

跨行業(yè)適用性：專為半導(dǎo)體（SiO?/SiN膜）、顯示面板（彩色光阻）、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計，支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。

安全與擴展性：區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機制，獨立測量頭支持定制化嵌入，滿足在線檢測（inline）與實驗室研發(fā)需求。

Otsuka大塚整面薄膜掃描膜厚儀（在線式）-成都藤田科技提供

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