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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心日本大塚Otsuka日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀-成都藤田科技提供
產(chǎn)品信息 特 長(zhǎng) 薄膜到厚膜的測(cè)量范圍、UV~NIR光譜分析 高性能的低價(jià)光學(xué)薄膜量測(cè)儀 藉由反射率光譜分析膜厚 完整繼承FE-3000機(jī)種90%的強(qiáng)大功能 無(wú)復(fù)雜設(shè)定,操作簡(jiǎn)單,短時(shí)...

產(chǎn)品型號(hào):

更新時(shí)間:2025-02-21

廠商性質(zhì):代理商

訪問(wèn)量:123

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日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀-成都藤田科技提供

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀


產(chǎn)品信息

特 點(diǎn)

● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)(第4834847號(hào))

● 使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測(cè)量系統(tǒng)

● 可嵌入至各種制造設(shè)備。

● 實(shí)時(shí)測(cè)量膜厚

● 可對(duì)應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點(diǎn)測(cè)量

● 采用壽命長(zhǎng)、安全性高的白色LED光源

測(cè)量項(xiàng)目

多層膜厚解析

用 途

光學(xué)薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)

FPD相關(guān)(光刻膠、SOI、SiO2等)


設(shè)備構(gòu)成

單點(diǎn)型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀

半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測(cè)量

玻璃基板的面內(nèi)分布測(cè)量

多點(diǎn)型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀

實(shí)時(shí)測(cè)量

流向品質(zhì)管理

真空室適用

導(dǎo)線型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀

實(shí)時(shí)測(cè)量

寬度方向品質(zhì)管理

測(cè)量案例

超硬涂層的膜厚解析

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀

設(shè)備構(gòu)成

單點(diǎn)型

            日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀

半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測(cè)量

玻璃基板的面內(nèi)分布測(cè)量

多點(diǎn)型

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實(shí)時(shí)測(cè)量

流向品質(zhì)管理

真空室適用

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寬度方向品質(zhì)管理

測(cè)量案例

超硬涂層的膜厚解析

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀

核心特點(diǎn)

  1. 微區(qū)測(cè)量能力:最小光斑直徑3μm,搭配自動(dòng)XY平臺(tái)(200×200mm),實(shí)現(xiàn)晶圓、FPD(如OLED、ITO膜)等微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。

  2. 跨行業(yè)適用性:專為半導(dǎo)體(SiO?/SiN膜)、顯示面板(彩色光阻)、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計(jì),支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。

  3. 安全與擴(kuò)展性:區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機(jī)制,獨(dú)立測(cè)量頭支持定制化嵌入,滿足在線檢測(cè)(inline)與實(shí)驗(yàn)室研發(fā)需求。

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀-成都藤田科技提供

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