日本Otsuka大塚薄膜離線型掃描膜厚儀-成都藤田科技提供
采用線掃描方式檢測(cè)整面薄膜硬件軟件均為創(chuàng)新設(shè)計(jì) 作為專業(yè)膜厚測(cè)定廠商，提供多種支援實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量不受偏差影響可對(duì)應(yīng)寬幅樣...

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-04-15

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：214

服務(wù)熱線

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

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產(chǎn)品介紹

日本Otsuka大塚薄膜離線型掃描膜厚儀-成都藤田科技提供

日本Otsuka大塚薄膜離線型掃描膜厚儀

產(chǎn)品信息

特點(diǎn)

● 全面高速高精度進(jìn)行薄膜等面內(nèi)膜厚不均一性檢測(cè)

● 硬件&軟件均為創(chuàng)新設(shè)計(jì)

● 作為專業(yè)膜厚測(cè)定廠商，提供多種支援

● 實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量

● 實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量（500萬(wàn)點(diǎn)以上/分）

產(chǎn)品規(guī)格

測(cè)量例

250mm寬的薄膜案例

核心特點(diǎn)：

微區(qū)測(cè)量能力：最小光斑直徑3μm，搭配自動(dòng)XY平臺(tái)（200×200mm），實(shí)現(xiàn)晶圓、FPD（如OLED、ITO膜）等微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。
跨行業(yè)適用性：專為半導(dǎo)體（SiO?/SiN膜）、顯示面板（彩色光阻）、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計(jì)，支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。
安全與擴(kuò)展性：區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機(jī)制，獨(dú)立測(cè)量頭支持定制化嵌入，滿足在線檢測(cè)（inline）與實(shí)驗(yàn)室研發(fā)需求。

日本Otsuka大塚薄膜離線型掃描膜厚儀-成都藤田科技提供

非破壞性高速測(cè)量：采用顯微分光技術(shù)，1秒內(nèi)完成單點(diǎn)對(duì)焦與測(cè)量，支持從紫外（230nm）到近紅外（1600nm）廣波長(zhǎng)范圍，覆蓋1nm至92μm膜厚需求，滿足半導(dǎo)體、光學(xué)材料等高精度場(chǎng)景。
透明基板技術(shù)：反射對(duì)物鏡設(shè)計(jì)，物理消除基板內(nèi)部反射干擾，實(shí)現(xiàn)玻璃、SiC等透明或異向性基板上的高精度膜厚測(cè)量，支持50層以上多層膜解析。
智能建模與易用性：內(nèi)置初學(xué)者模式，簡(jiǎn)化光學(xué)常數(shù)（n/k）建模流程，支持宏功能自定義測(cè)量序列，可無(wú)縫集成自動(dòng)化產(chǎn)線。